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 NEW 비접촉 금속 현미경 MTM-3020MA

● 용도 ●

- MTM-3020MA 모델은 금속 현미경으로 육안 및 나노미터급의
고정밀도 기기로써, 육안과 영상으로 동시에 관찰 가능한 시스템
이며 금속의 표면 및 미세구조를 관찰할 수 있는 장비입니다.

- 전자부품, 정밀 금형, 플라스틱 사출, PCB 기판 제품 및 코팅 두께,
휴대폰 유리, 휴대전화의 산업 현장 등 다양한 분야에 응용



● 특징 ●
- 백주간섭 광학 사용으로 나노급 두께 측정 가능(옵션)
- X, Y, Z축 분해능(수동) 0.5㎛, Z축 분해능(자동) 0.1㎛
- 빠른 비접촉 측정
- 동축 조명, 평행광 하부조명 장착
- 자동 측정 기능
- 편광 기능

 

 

 

● 프로그램 ●
QMS-3DM
- 화면 그레이(모노) 기능
- 오버 레이 차트 기능
- 수동 초점 기능
- 기하공차 해석
- 측정 요소 복사 기능
- 임의 요소 생성 기능
- 이미지 스캔 기능
- 측정 데이터 CAD, 엑셀, 워드 전송
- 최적 조명 조절 기능
- 영상 영역 비교 측정 기능

 

 

 

● 사양 ●

구 분

MTM-3020MA

재물대 크기(mm)

500x330

유리테이블 크기(mm)

350x250

X, Y 이동범위(mm)

300x200

Z 이동범위/수동(mm)

120

Z 이동범위/자동(mm)

2

배율오차

왜곡 오차 포함 ?0.08%

정밀도(㎛)

E1xy=(2.5+L/100)

분해능/수동(㎛)

0.5

Z 분해능/자동(㎛)

0.1

조 명

표면 및 투과조명 모두 LED조명으로 밝기 조절 가능

프로그램

QMS-3DM

무 게(kg)

130

본체크기(LxWxHmm)

825x660x910

육안 시스템

영상 시스템

대물렌즈

5X, 10X, 20X, 50X

5X, 10X, 20X, 50X, 10X Mirau (옵션)

접안렌즈

10X

1/2" CCD

총 확대배율

50X ~ 500X

142.5X ~ 1425X (19.5" 1440*900)

※ 렌즈 옵션 사양 (10X Mirau)

 

 

 

● 단층 투명막 두께 측정 모듈 ●

고정밀 측정모드

쾌속 측정모드

두께 측정 범위

100㎚ ~ 300㎚

300㎚ ~ 500㎚

500㎚ ~ 3㎛

3㎛ ~ 20㎛

분해능

5㎚

5㎚

7.5㎚

0.1㎛

※ 10X Mirau 대물렌즈 사용시 두께 측정 가능 (전용 프로그램 사용)